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現應用的UV光催化廢氣處理設備的技術是利用特種紫外線波段，在特種催化氧化劑的作用下，將氧氣催化生成負氧離子，再將廢氣分子氧化還原的一種特殊處理方式。

國內運用的UV光催化氧化的治污設備，通常采用雙波長紫外光管，采用二氧化鈦材料作為催化劑，制造其的環保公司對設備的除污參數，基本上都會提到這類設備的除污效率達到80%以上。

UV光催化氧化法處理VOCs有機廢氣的弊端

實際上現市場的光催化氧化法處理設備采用的紫外光管降解VOCs受催化材料、粉塵、反應時間、濕度、廢氣濃度等影響甚大，同時如無可控技術，會生成中間副產物并加大了污染排放。存在巨大的環保責任風險。

(1)光催化材料的影響

光催化氧化技術的微觀反應原理是：當催化劑被一定光強的光照射時，根據半導體電子結構的特點，催化劑中會發生電子躍遷，即電子(e -) 會從充滿的價帶躍遷到空的導帶，從而留下氧化性極強地帶正電的空穴(h +)。若采用市面上的二氧化鈦(建材)材料，而不是銳鈦礦型(光觸媒介)二氧化鈦光觸媒(性價比等同碳與鉆石)，完全沒有催化光解功效。

(2)生成副產物

目前普遍研究認為光催化氧化法能夠將VOCs 完全降解生成無毒無害的CO2 和H2O等，但是在實際工程實踐中VOCs 的光催化氧化反應會生成酮、醛等中間產物，對環境造成二次污染。