近日,江蘇省新發布的《半導體行業污染物排放標準》(報批稿)規定了半導體企業的水污染物和大氣污染物排放限值、監測和監控要求,以及標準實施與監督等相關規定。其中,規定了非甲烷總烴最高允許排放濃度為50mg/m3。

案例:廢氣凈化設備RCO催化燃燒安裝在客戶廠區
半導體行業作為高新技術產業往往被人誤解為 “清潔”產業,但事實上,半導體生產過程中使用了大量有機和無機物,包括許多有毒有害物質,對環境危害較為嚴重,如不加以控制,將會產生較大的環境污染。
據國家統計局數據,截至2016年我國電子元件制造行業規模以上企業數量達5751家。我國的半導體行業市場集中度較高,主要集中在長江三角洲、珠江三角洲、環渤海以及中西部區域。

半導體行業目前絕大部分地區參照國家《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996),僅對排放的部分等污染物苯、甲苯、二甲苯等規定了排放限值,國內地方行業標準只有1~3個指標,不能面對行業排放污染物較多的實際問題;缺少行業特征污染物項目如苯系物、異丙醇、醛酮類、乙酸酯類等作為VOCs控制指標,也不能反映行業的生產特殊性。
此前,2018年發布的江蘇省《半導體行業污染物排放標準》(征求意見稿)中規定的非甲烷總烴最高允許排放濃度為60mg/m3。
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