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半導體行業作為高新技術產業往往被人誤解為 “清潔”產業，但事實上，半導體生產過程中使用了大量有機和無機物，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放，對環境危害較為嚴重，如不加以控制，將會產生較大的環境污染。

半導體工藝過程中有機廢氣具有排放風量大、濃度低和成分復雜的特點，使用其它的有機廢氣治理技術難以達到令人滿意的處理效率。比較適用的是吸附——催化燃燒法，目前一些大型半導體企業已采用沸石轉輪催化燃燒技術。

沸石轉輪催化燃燒設備安裝在客戶廠區

大風量、低濃度的揮發性有機廢氣(VOCs)經過高效過濾器過濾后，進入沸石分子篩被吸附、濃縮，被吸附凈化后的干凈空氣通過煙囪排入大氣。

電控系統控制催化氧化爐開始加熱，加熱后的高溫氣體經換熱器降溫再經混風調節到100——200℃;沸石轉輪緩慢回轉(3～8r/h)，吸附區的轉輪旋轉到脫附區高溫脫附，脫附后的高濃度有機廢氣經換熱器預熱進入催化氧化爐，氧化分解成二氧化碳和水，凈化后的空氣經煙囪高空排放。

完成脫附的沸石轉輪旋轉到冷卻區冷卻降溫，完成吸附/脫附/冷卻的循環過程。

該方法適用于大風量、低濃度、常溫的有機廢氣治理，有機廢氣治理效率達到95%以上，運行費用較低，設備處理風量大，占地面積小，不產生二次污染，可持續脫附并處理污染物，保證廢氣達標排放。

樸華科技是一家專業的環保設備生產廠家，擁有十多年的有機廢氣處理、粉塵治理、脫硫脫硝、污水治理、油煙凈化大型項目經驗，并可對整套設備進行優化改良，提供相關設備的制造、安裝、調試等服務，歡迎廣大客戶前來咨詢，全國統一服務熱線：158-9013-7611。

標簽： 半導體行業 有機廢氣治理

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